真空排気装置設計製作

・真空排気装置の設計・製作・販売を行います。 ・各種真空設備をお客様のご要望に合わせてご提供いたします。
真空排気ユニット 真空排気ユニット TMPポンプセット 大容量TMP排気セット
高真空排気ユニット

真空ポンプと真空計、バルブなど各種機器をご要望に応じて組み合わせ、設計・製作致します。 大学、研究機関等における実験、研究用途にて納入実績がございます。

減圧加熱装置 減圧加熱装置 特殊洗浄装置 特殊洗浄装置 小型分光装置 小型分光装置 軟X線回析装置 軟X線回析装置
ガス供給セット ガス供給セット 小型プラズマ装置 小型プラズマ装置 平行平板電極 平行平板電極
 
・真空排気ユニット ・結晶成長装置排気系
・プラズマ装置 ・加速器用真空排気ユニット
・スパッタリング装置 ・自動ビルドアップ計測装置
・ガス供給パネル ・小型テストチャンバー型成膜測定装置
・油膜測定用回転真空装置 ・ダストフィルタ、サブタンク付排気システム
・ガス分析用差動排気システム ・ウエットエッチング装置
・超高温石英ヒーター加熱真空装置 ・スパッタリング装置改造
・自動直線導入ユニットなど


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